Свойства метилхлорсиланов

Соединение	Мол. масса	Тпл, °С	Ткип, °С	d420	nD20
Метилхлорсилан CH3SiClH2	80,592	-134	8,7	0,935*	-
Диметилхлорсилан (CH3)2SiClH	94,618	-111	36	0,855	1,3850
Метилдихлорсилан CH3SiCl2H	115,041	-93	40,6	1,105	1,4000
Триметилхлорсилан (CH3)3SiCl	108,644	-57,7	58	0,858	1,3885
Диметилдихлорсилан (CH3)2SiCl2	129,067	-86	70,2	1,064	1,4055
Метилтрихлорсилан CH3SiCl3	149,489	-90	66	1,275	1,4110
* При -80°С

^× Источник: Химическая энциклопедия. Под ред. И.Л. Кнунянца. Т. 3. -М.: Советская энциклопедия., 1992. С. 126.